用于传感应用的超薄SOI谐振器的性能

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资料介绍:

用于传感应用的超薄SOI谐振器的性能(中文9600字,英文PDF)
摘要:这项工作展示了超薄光学环谐振器的仿真和实验结果,与传统的基于绝缘体上硅(SOI)的谐振器传感器相比,具有更大的消逝场(EF)穿透深度,因此具有更大的灵敏度。对于感测应用而言,对包层介质的折射率的变化具有更高的灵敏度是合乎需要的,因为感兴趣的相互作用发生在该区域中。使用超薄波导(<100nm厚)有望增强体积和表面感测的灵敏度,因为EF增加了对包层的穿透。在这项工作中,提出了超薄谐振器传感器的设计和表征,在多项目晶圆服务的约束下,提供三种波导厚度(90 nm,150 nm和220 nm)。这些服务通常允许生物传感器与片上检测器的有效集成,从而实现片上实验室(LoC)系统。此外,表征了超薄谐振器传感器的更高温度稳定性,并且在存在有意的环境(温度)波动的情况下,将其与标准横向电SOI基谐振器传感器进行比较。
 

用于传感应用的超薄SOI谐振器的性能