采用表面微加工技术制造微型行星齿轮减速器

采用表面微加工技术制造微型行星齿轮减速器(中文5400字,英文PDF)
摘要：本文提出一个微型行星齿轮机构具有较高的齿轮减速比紧凑的尺寸。首脑会议采用V是被淘汰的制造方法，使组装部件的冗余。其中的设计规则也被检查。为了充分利用表面微机械加工的好处，行星式减速齿轮的设计，对使用的片上微引擎。计算预期的齿轮减速比，并与以往的链齿轮机构相比。本文介绍的微型行星齿轮机构，预计将有162:1的减速比利用更小的空间消耗。这是一个数量级高于先前报道的设计在一个单一的减速齿轮系。
关键词：MEMS，行星齿轮，减速齿轮表面微机械，首脑会议的V过程。